Conventional

Reactive Distillation

과산화수소 정제 시스템

Purpose of Ultra Pure Hydrogen Peroxide

• · 반도체 장치
• · 크리닝(Cleaning)
• · 에칭(Etching)

Our Technology

• · 양이온 및 음이온 교환 수지 적용
• · TOC 흡착수지 적용
• · 역삼투압 최적화 기술
• · 수지 전처리 기술
• · 수지의 최적 재생기술

Product Quality Grade

• · VLSI grade : 200ppb
• · ULSI grade : 10ppb
• · SLSI grade : 1ppb
• · XLSI grade : 100ppt

연속 이온 교환 시스템

Continuous Ion Exchange System

Process Description

• · 수지의 활용도를 높이기 위해 활성 영역을 여러 개의 작은 단위로 구분
• · 상부 유닛(Unit)이 포화되면 세척 및 재생을 위해 유닛(Unit)의 수지가 축시 제거
• · 처리 후의 깨끗한 수지 유닛(Unit) 은 재활용을 위해 탑설 영역으로 복귀